SF6定量檢漏儀的核心是一臺先進的微處理機。它采用的數字信號處理技術使得它比采用的操縱電路及傳感頭信號更好成為可能。此外，電路中使用的元件數量約減少40%，從而提高了可靠性及性能。微處理機實時監視傳感頭和電池電壓值，每秒鐘可達4000次，能及時補償即使是zui微小變動的信號脈動。這使得該儀表在幾乎一切環境的應用中，成為一種穩定而可靠的檢測工具。

　　根據測試者的目測來判別工件是否存在泄漏，泄漏的大小取決于測試者的主觀判斷，所以它很難消除人為因素對測試結果的影響，同時也決定了它無法定量地測出工件的泄漏率。此外，用這種方法測試后，還要對SF6定量檢漏儀的工件進行清潔、干燥及防銹處理等額外工作，對產品的密封性要求也越發嚴格。而早期流行的采用浸水冒泡法進行密封性檢測因與現在工藝的整潔，衛生、不相符合而逐漸退出；而在一些行業特別需求產能大、而質譜式檢漏、氫氮混合氣體檢漏因涉及成本原因，在一些要求不高的地方有相當的局限。配備較長的柔性不銹鋼探頭，探測范圍廣。使用方便、靈活，配有抽氣泵、抽氣時增強測試靈敏度。

　　以質量流量計或體積流量計感測充入工件氣體流量的變化，以此來判定SF6定量檢漏儀工件泄漏量是否在工藝要求合格范圍內。流量法的特點是測量信號與被測容積的大小無關，測量信號直接反映氣體泄漏量。若感測元件是差壓流量計則為差壓流量法，其檢漏儀為差壓流量檢漏儀；若是質量流量計則為質量流量法，其檢漏儀為SF6定量檢漏儀。當對一個密封的容積充氣時，氣體將會在容積內產生振蕩，此振蕩的強弱也受形腔形狀和材質的影響；當在同等條件下，充氣壓力越高，振蕩的幅度也越高；被測件的材質和形狀不同，則散熱能力也不一樣，充氣變形量也不一樣；若標準件與被測件的容積大小不同，材料的散熱能力，充氣變形量不同都會有相當的差異。